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- 2026-05-06 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119495570A
(43)申请公布日2025.02.21
(21)申请号202311027398.3
(22)申请日2023.08.15
(71)申请人上海华力集成电路制造有限公司
地址201203上海市浦东新区康桥东路298
号1幢1060室
(72)发明人史天泉刘政红齐瑞生黄冠群陈昊瑜
(74)专利代理机构上海浦一知识产权代理有限
公司31211
专利代理师王江富
(51)Int.Cl.
H01L21/48(2006.01)
权利要求书1页说明书5页附图2页
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