CN120044764A 一种基于全透明衬底的光刻方法 .pdfVIP

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  • 2026-05-06 发布于重庆
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CN120044764A 一种基于全透明衬底的光刻方法 .pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120044764A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510270415.9

(22)申请日2025.03.07

(71)申请人中国科学院微电子研究所

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