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CN119495599A 基板处理装置以及基板处理方法 （Tes股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-06 发布于山西
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CN119495599A 基板处理装置以及基板处理方法 （Tes股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119495599A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202411085267.5

    (22)申请日2024.08.08

    (30)优先权数据

    10-2023-01059722023.08.12KR

    (71)申请人TES股份有限公司地址韩国京畿道

    (72)发明人金新明宋炫锡金熙元

    (74)专利代理机构北京钲霖知识产权代理有限

    公司11722

    专利代理师李英艳玉昌峰

    (51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    C23C14/24(200

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