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- 2026-05-07 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120264804A
(43)申请公布日2025.07.04
(21)申请号202510283076.8C23C16/50(2006.01)
C23C16/34(2006.01)
(22)申请日2025.03.11
C23C16/18(2006.01)
(71)申请人中科蓝谷半导体(广西)有限公司C23C14/24(2006.01)
地址530201广西壮族自治区南宁市青秀
区天合路8号中国-东盟数字经济产业
园3#楼1层101室
(72
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