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精密光学测量系统的优化技术研究

目录

文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

精密光学测量系统理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.1测量原理与系统构成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.2系统误差分析与建模．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.3提高测量精度的关键因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.4系统优化理论方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

精密光学测量系统的设计优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.1关键光学元器件选型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.2系统结构参数优化设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.3光学系统像质评价与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

3.4系统稳定性设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

精密光学测量系统的误差补偿技术．．．．．．．