CN120191887A 静电吸附微探针及其制备方法 .pdfVIP

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  • 2026-05-08 发布于重庆
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CN120191887A 静电吸附微探针及其制备方法 .pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120191887A

(43)申请公布日2025.06.24

(21)申请号202510262975.X

(22)申请日2025.03.06

(71)申请人中国科学院半导体研究所

地址100083北京市海淀区清华东路甲35

(72)发明人王晓东肖世裕王波皓董昭润

张明亮陈雪

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

公司11021

专利代理师李婉婉

(51)Int.Cl.

B81B1/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

B82Y40/00(2011.01)

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