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CN119511638A 光栅干涉曝光系统及方法 （深圳光峰科技股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-08 发布于山西
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CN119511638A 光栅干涉曝光系统及方法 （深圳光峰科技股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119511638A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202310996554.0

    (22)申请日2023.08.08

    (71)申请人深圳光峰科技股份有限公司

    地址518000广东省深圳市南山区粤海街

    道学府路63号高新区联合总部大厦

    20-22楼

    (72)发明人赵家琦严子深赵鹏李屹

    (74)专利代理机构深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙)44351

    专利代理师吕静

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    G02B5/18(2

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