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纳米电子元件与微系统集成的技术关联

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3主要研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

纳米电子元件基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1纳米电子元件的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.2常见纳米电子元件原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.3纳米电子元件制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

微系统集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

3.1微系统集成的概念与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

3.2微系统制造方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.3微系统集成