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- 2026-05-09 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120174429A
(43)申请公布日2025.06.20
(21)申请号202510261492.8
(22)申请日2025.03.06
(71)申请人广东先导微电子科技有限公司
地址511517广东省清远市高新区创兴三
路16号A车间
(72)发明人李清宇吴广杰黄杰杰
(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限
公司44202
专利代理师姚舜禹
(51)Int.Cl.
C25C3/24(2006.01)
权利要求书1页说明书6页附图1页
(54)发明名称
一种MBE源铝棒制备装置以及制备方法
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