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- 2026-05-10 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119537350A
(43)申请公布日2025.02.28
(21)申请号202510100042.0
(22)申请日2025.01.22
(71)申请人北京特思迪半导体设备有限公司
地址101300北京市顺义区杜杨北街3号院
6号楼（顺创）
(72)发明人周惠言孟炜涛孙昕宇蒋继乐
(51)Int.Cl.
G06F16/21(2019.01)
G01B11/06(2006.01)
H01L21/66(2006.01)
权利要求书2页说明书9页附图2页
(54)发明名
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