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CN120089602A 一种轻掺硼硅抛光片体铁金属含量的测试方法 .pdfVIP

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  • 2026-05-10 发布于重庆
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CN120089602A 一种轻掺硼硅抛光片体铁金属含量的测试方法 .pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120089602A

    (43)申请公布日2025.06.03

    (21)申请号202510261820.4G01N21/17(2006.01)

    G01N1/28(2006.01)

    (22)申请日2025.03.06

    G01N1/44(2006.01)

    (71)申请人山东有研艾斯半导体材料有限公司H01L21/66(2006.01)

    地址253084山东省德州市天衢新区东方

    C30B33/02(2006

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