CN119522468A 制造半导体装置的方法 （周星工程股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119522468A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202380051338.7

(22)申请日2023.07.07

(30)优先权数据

10-2022-00884272022.07.18KR

10-2022-00888002022.07.19KR

10-2023-00452602023.04.06KR

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.31

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/KR2023/0096422023.07.07

(87)PCT国际申请的公布