T_CIET 1279-2025 碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）.docxVIP

ICS29.045CCSQ44

TCIET

团体标准

T/CIET1279—2025

碳化硅单晶生长技术规范物理气相传输

法（PVT）

Technicalspecificationforsiliconcarbidesinglecrystalgrowth—Physicalvapor

transportmethod(PVT)

2025-05-14发布2025-05-14实施

中国国际经济技术合作促进会发布

T/CIET1279—2025

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4工艺原理 2

5设备要求 2

6工艺过程 3

7质量控制 4

8安全与环保 5

T/CIET1279—2025

II

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责