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CN119535914A 模拟光刻胶形貌的方法、设备和介质 （全智芯(上海)技术有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-11 发布于山西
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CN119535914A 模拟光刻胶形貌的方法、设备和介质 （全智芯(上海)技术有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119535914A

    (43)申请公布日2025.02.28

    (21)申请号202510105891.5

    (22)申请日2025.01.22

    (71)申请人全智芯（上海）技术有限公司

    地址201306上海市浦东新区中国（上海）

    自由贸易试验区临港新片区环湖西二

    路888号C楼

    (72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

    (74)专利代理机构北京世辉律师事务所16093专利代理师黄倩

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    G03F7

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