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CN119529678A 一种化学机械抛光液及其制备方法和应用 （齐芯微(绍兴)电子材料科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-11 发布于山西
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CN119529678A 一种化学机械抛光液及其制备方法和应用 （齐芯微(绍兴)电子材料科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119529678A

    (43)申请公布日2025.02.28

    (21)申请号202510096214.1

    (22)申请日2025.01.22

    (71)申请人齐芯微（绍兴）电子材料科技有限公司

    地址312065浙江省绍兴市柯桥区齐贤街

    道官湖沿村1幢三楼H区

    (72)发明人周辉周烈罗爱清

    (74)专利代理机构上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)31306

    专利代理师李四娥

    (51)Int.Cl.

    C09G1/02(2006.01)

    H01L21/306(2006.01)

    权利要求书

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