CN119530756A 一种SiC边缘环及其制备方法和应用 (西北工业大学).docxVIP

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  • 2026-05-13 发布于山西
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CN119530756A 一种SiC边缘环及其制备方法和应用 (西北工业大学).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119530756A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202510110284.8

(22)申请日2025.01.23

(71)申请人西北工业大学

地址710072陕西省西安市碑林区友谊西

路127号

(72)发明人成来飞牛昌辉

(74)专利代理机构西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙)61290

专利代理师李涛

(51)Int.Cl.

C23C16/32(2006.01)

C30B33/02(2006.01)

C23C16/02(2006.01)

C23

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