CN119542169A 一种用于实时缺陷检测的tmbs器件制造方法 （长春长光圆辰微电子技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119542169A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202510089688.3

(22)申请日2025.01.21

(71)申请人长春长光圆辰微电子技术有限公司

地址130000吉林省长春市经开区营口路

18号

(72)发明人叶武阳勾浩亚王浩宇张昊宇

(74)专利代理机构长春众邦菁华知识产权代理

有限公司22214

专利代理师杨洁

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H10D8/01(2025.01)

H10D8/60(2025.01)

G06F17/10(2006.01)

权利要求书3页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种用于实时缺陷检测的TMBS器件制造方

法

(57)摘要

CN119542169A本申请涉及半导体制造技术领域，本申请提供一种用于实时缺陷检测的TMBS器件制造方法，步骤包括：在TMBS基底中采集在光刻和刻蚀过程中温度和湿度数据，输出第一实时监测参数值；使用传感器实时采集TMBS基底表面图像，输出第二实时监测参数值；在TMBS基底形成半导体栅极过程中，使用传感器实时采集温度分布图，输出第三实时监测参数值；为每个步骤设定工艺窗口