CN119547178A 制造薄膜的方法、薄膜和基板处理设备 （周星工程股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119547178A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202380052364.1

(22)申请日2023.07.11

(30)优先权数据

10-2022-00909332022.07.22KR

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/KR2023/0098082023.07.11

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/019392KO2024.01.25

(71)申请人周星工程股份有限公司地址韩国京畿道

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