CN120109016A 一种铜cmp前表面平坦化的方法 （上海新微技术研发中心有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120109016A

(43)申请公布日2025.06.06

(21)申请号202510289260.3

(22)申请日2025.03.12

(71)申请人上海新微技术研发中心有限公司

地址201800上海市嘉定区菊园新区胜竹

路1399号2幢9层930室

(72)发明人谢铮乔启峰

(74)专利代理机构苏州创智高诺知识产权代理

有限公司32843

专利代理师叶栋

(51)Int.Cl.

H01L21/321(2006.01)

H01L21/3213(2006.01)

H01L21/768(2006.01)