CN119558209A 一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统 （浙江大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119558209A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202510132533.3

(22)申请日2025.02.06

(71)申请人浙江大学

地址310058浙江省杭州市西湖区余杭塘

路866号

申请人浙江创芯集成电路有限公司

(72)发明人陈一宁谢玮平高大为陈鼎崴

(74)专利代理机构杭州求是专利事务所有限公司33200

专利代理师杨亚男

(51)Int.Cl.

G06F30/27(2020.01)

G06N3/0455(2023.01)

G06F111/06(2020.01)

权利要求书2页说明书9页附图2页

(54)发明名称

一种基于扩散模型的软传感器技术数据生

成方法和系统

(57)摘要

CN119558209A本发明公开了一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统，属于软传感器技术数据生成领域。收集晶圆制造过程中的数据作为训练集，包括半导体关键制造步骤的过程数据和量测数据；利用训练集迭代训练回归增强扩散模型；在迭代训练过程中，每完成一轮训练后根据虚拟样本子集的非支配排序结果和拥挤度结果筛选部分虚拟样本子集并加入训练集；最后，以随机高斯噪声为输入，利用训练后的回归增强扩散模型的回传去噪模块生成虚拟过程数据，