CN120164768A 一种像差矫正反射镜装置、像差矫正系统及方法 （粤港澳大湾区(广东)量子科学中心）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120164768A

(43)申请公布日2025.06.17

(21)申请号202510313899.0

(22)申请日2025.03.17

(71)申请人粤港澳大湾区（广东）量子科学中心

地址518045广东省深圳市福田区槟榔道3

号深港国际科技园A栋

(72)发明人万唯实

(74)专利代理机构深圳市君胜知识产权代理事

务所(普通合伙)44268

专利代理师方金芝王永文

(51)Int.Cl.

H01J37/153(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图4页

(54)发明名称

一种像差矫正反射镜