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- 2026-05-16 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119565870A
(43)申请公布日2025.03.07
(21)申请号202510138489.7
(22)申请日2025.02.08
(71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司
地址110180辽宁省沈阳市浑南区飞云路
16号
(72)发明人郭东张怀东程超王雨婷
(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286
专利代理师黄海霞
(51)Int.Cl.
B05C11/10(2006.01)
B05B12/08(2006.01)
权利要求书2
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