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CN119568989A 半导体结构及半导体工艺的检测方法 （无锡华润上华科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-19 发布于山西
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CN119568989A 半导体结构及半导体工艺的检测方法 （无锡华润上华科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119568989A

    (43)申请公布日2025.03.07

    (21)申请号202311137285.9

    (22)申请日2023.09.05

    (71)申请人无锡华润上华科技有限公司

    地址214028江苏省无锡市国家高新技术

    产业开发区新洲路8号

    (72)发明人陈亚威简志宏

    (74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限

    公司44224

    专利代理师段志

    (51)Int.Cl.

    B81C99/00(2010.01)

    G01N21/88(2006.01)

    权利要求书2页说明书9页附图6

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