CN119585590A 用于样品的平面层厚度测量的成像式椭圆计和使用成像式椭圆计的方法 （维也纳工业大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119585590A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202380054734.5

(22)申请日2023.07.21

(30)优先权数据

102022118379.32022.07.22DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.17

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0703062023.07.21

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/018064DE2024.01.25

(71)申请人维也纳工业大学地址奥地利维也纳

(72)发明人费迪南德·巴默

弗洛里安·费迪南德·赫默

(74)专利代理机构北京知帆远景知识产权代理

有限公司11890

专利代理师苏志莲

(51)Int.Cl.

G01B11/06(2006.01)

G01N21/21(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图2页

(54)发明名称

用于样品的平面层厚度测量的成像式椭圆

计和使用成像式椭圆计的方法

(57)摘要

CN119585590A本发明涉及一种用于对优选柱形的样品(2)进行平面层厚度测量的成像式椭圆计(1)，具有单色光源(3)、偏振器(4)、可选择角度的物镜(5)和偏振摄像头(6)，所述单色光源构造成将