CN119585678A 光源单元、照明单元、曝光装置、及曝光方法 （株式会社尼康）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119585678A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202280098506.3

(22)申请日2022.08.18

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.22

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0311912022.08.18

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/038533JA2024.02.22

(71)申请人株式会社尼康

地址日本东京品川区西大井1-5-20(邮编140-8601)

(72)发明人岩永正也川户聪

(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理

有限公司11205

专利代理师马雯雯黄健

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书1页说明书10页附图6页

(54)发明名称

光源单元、照明单元、曝光装置、及曝光方法

(57)摘要

光源单元具备：光源阵列，在二维平面上排列多个具有出射光的发光部的光源元件；以及放大光学系统，形成所述光源元件各者的所述发光部的放大像，所述放大光学系统是以倍率M放大投影的两侧远心光学系统，在将所述光源元件的排列间距设为p，将所述发光部的发光面的一边的长度设为a，将自所述发光部出射的所述光中放射强度高于朗伯放射的光的最大