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飞秒激光加工系统应用前景广阔我国技术研究取得新突破

????飞秒激光加工系统，指利用飞秒级超短脉冲激光实现精密微纳加工的设备。飞秒激光加工系统具备可实现非线性加工、加工精度高、热影响区极小、?材料适应性广等优势，在航空航天、半导体制造、科学研究、生物医疗、光纤传感等众多领域拥有广阔应用前景。

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?????飞秒激光加工系统主要由功率放大模块?、飞秒激光光源?、精密运动与扫描系统、谐波发生器?、辅助模块、控制系统等组件构成。飞秒激光光源为飞秒激光加工系统核心组件，可利用飞秒光纤激光器发射飞秒级脉冲种子光。近年来，随着国家政策支持以及本土企业持续发力，我国飞秒光纤激