CN119588049A 一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过滤装置及其方法 （美科瑞(江苏)先进材料科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119588049A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510075531.5

(22)申请日2025.01.17

(71)申请人美科瑞（江苏）先进材料科技有限公司

地址214191江苏省无锡市锡山开发区荟

智企业中心凤威路2号B312-231

(72)发明人宋军颜刚

(74)专利代理机构青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)37247

专利代理师张洋

(51)Int.Cl.

B01D29/03(2006.01)

B01D29/64(2006.01)

B01D61/58(2006.01)

B01D63/16(2006.01)

B01D65/04(2006.01)

B01F27/921(2022.01)

B01F27/90(2022.01)

B01F27/85(2022.01)

权利要求书2页说明书5页附图4页

(54)发明名称

一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过

滤装置及其方法

(57)摘要

CN119588049A本发明涉及半导体加工辅助设备技术领域，具体为一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过滤装置及其方法，包括外桶体、设置于外桶体顶端的预滤装置、转动连接于外筒体内部的双层离心筒、转动连接于预滤装置与双层离心筒