CN119592255A 一种抗静电晶圆切割胶带及其制备方法 （深圳先进电子材料国际创新研究院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119592255A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202311157327.5

(22)申请日2023.09.08

(71)申请人深圳先进电子材料国际创新研究院

地址518103广东省深圳市宝安区福永街

道龙王庙工业区

(72)发明人黄一峰沈勇波张国平孙蓉

(74)专利代理机构北京市诚辉律师事务所11430

专利代理师范盈姚幸茹

(51)Int.Cl.

C09J7/38(2018.01)

C09J7/24(2018.01)

C09J133/08(2006.01)

C09J9/02(2006.01)

权利要求书2页说明书7页

(54)发明名称

一种抗静电晶圆切割胶带及其制备方法

(57)摘要

CN119592255A本发明公开了一种抗静电晶圆切割胶带及其制备方法，该抗静电晶圆切割胶带由混合功能化还原氧化石墨烯与抗静电丙烯酸酯压敏胶液、固化剂并进行反应、涂布、干燥、压层、熟化制成；该功能化还原氧化石墨烯通过将氨基硅烷水解后与氧化石墨烯在醇中反应制备得到功能化氧化石墨烯，再在还原剂存在下还原制成。本发明解决了石墨烯与压敏胶之间不相容的问题，化学键连接的方法分散效果佳，只需添加很少的量就可起到抗静电效果，可用于制备兼顾剥离力