CN119592956A 一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置 （深圳晶恒宇环境科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119592956A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510047371.3

(22)申请日2025.01.13

(71)申请人深圳晶恒宇环境科技有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区福海街

道塘尾社区建安路22号中创汇科技创

新园3栋厂房101

(72)发明人向可阳邱双亮

(74)专利代理机构深圳市联江知识产权代理事务所(特殊普通合伙)44939

专利代理师旷江华

(51)Int.Cl.

C23F1/46(2006.01)

C25B1/26(2006.01)

C25C1/12(2006.01)

C02F3/12(2023.01)

权利要求书2页说明书6页附图6页

(54)发明名称

一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置

(57)摘要

CN119592956A本发明涉及蚀刻废液处理技术领域，且公开了一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置。该方法包括以下步骤：通过离子膜电解的工艺路线实现蚀刻液的循环再生及有效的将铜离子转变为金属铜，将蚀刻生产线内的蚀刻液循环进入电解槽，在电流的作用下，蚀刻液中的铜离子被还原为金属铜，而电解副产的氯气作为氧化剂回用于生产线，使得蚀刻液ORP得到提高，从而有效的降低了蚀刻线氧化剂的添加量，而电解