CN120133213A 一种提高晶圆表面洁净度的清洗装置及其使用方法 (江苏晟驰微电子有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-21 发布于重庆
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CN120133213A 一种提高晶圆表面洁净度的清洗装置及其使用方法 (江苏晟驰微电子有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120133213A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510321769.1B01F27/706(2022.01)

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