CN119593066A 一种氮化镓原位剥离设备及制备氮化镓单晶的方法 （福州大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119593066A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411981087.5

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人福州大学

地址362251福建省泉州市晋江市金井镇

水城路1号

申请人福建晶安光电有限公司

(72)发明人张海忠操权圣杨胜裕

(74)专利代理机构福州元创专利商标代理有限

公司35100

专利代理师林捷蔡学俊

(51)Int.Cl.

C30B33/00(2006.01)

C30B29/40(2006.01)

C30B25/08(2006.01)

C30B25/18(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称

一种氮化镓原位剥离设备及制备氮化镓单

晶的方法

(57)摘要

CN119593066A本发明涉及一种氮化镓原位剥离设备及制备氮化镓单晶的方法，其中一种氮化镓原位剥离设备包括具有气体入口和气体流出口的反应腔，所述反应腔上设有能够控制其体内温度的加热器，所述反应腔内安装有光学级石英托和放置在光学级石英托上用于外延生长氮化镓的外延衬底，所述反应腔的下部设有光学级石英片，所述反应腔的下方设有激光器，所述激光器向外延衬底方向发射激光，以使激光依次经过光学级石英片、光学