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基于PWM控制方式的射频离子源送气系统设计·87·

基于PWM控制方式的射频离子源送气系统设计

卜英南，雷光玖，张贤明，李明

(核工业西南物理研究院聚变科学所，四川成都610041)

摘要：针对射频离子源实验对放电室气压精确控制的要求，提出了基于PWM控制方式的送气系统设计

方案。结合真空系统的数学方程，利用Matlab—Simulink工具对PWM控制方式的送气过程进行仿真和

分析，验证该控制方式的可行性。该送气系统以数字信号控制器为核心控制单元，采用前馈补偿和气压

反馈PID控制策略，通过调节PWM占空比控制送气流量，以实现对离子源放电室气压的有效控制。实

验结果显示了PWM控制方式能够对气压进行精确控制，基于该控制方式的送气系统能够满足射频离

子源放电实验要求。

关键词：气压控制；射频离子源；PWM控制方式

中图分类号：TP273文献标识码：A文章编号：1000—8829(2013)08—0087—04

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