CN120294009A 缺陷检测设备及缺陷检测方法 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120294009A

(43)申请公布日2025.07.11

(21)申请号202510351451.8

(22)申请日2025.03.24

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710065陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司

(72)发明人卢龙龙

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事

务所(普通合伙)61253

专利代理师宋东阳王渝

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/01(2006.01)