CN120295062A 一种光刻胶模型的建模方法及相关产品 （东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120295062A

(43)申请公布日2025.07.11

(21)申请号202510353836.8

(22)申请日2025.03.24

(71)申请人东方晶源微电子科技（北京）股份有

限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区经海四路156号院12号楼

(72)发明人敬雷丁明耿浩赵昕

(74)专利代理机构北京智汇东方知识产权代理

事务所(普通合伙)11391

专利代理师高刘虎

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

G06F30/27(2020.01)

G06F119/18(2020.01)