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纳米级集成电路研究文献合集

一、纳米级集成电路概述

1.纳米级集成电路的定义与发展历程

纳米级集成电路，顾名思义，是指特征尺寸小于100纳米的集成电路。这一概念的出现，标志着集成电路技术进入了一个全新的发展阶段。自20世纪90年代以来，随着半导体工艺技术的不断发展，集成电路的特征尺寸已经从微米级缩小到了纳米级。据统计，从1990年到2018年，集成电路的特征尺寸大约每两年就会缩小一倍，这一趋势至今仍在继续。例如，2000年，英特尔推出的Itanium处理器采用了130纳米工艺，而到了2015年，英特尔推出的Broadwell处理器已经采用了14纳米工艺。

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