边界控制电沉积中因子化扎凯滤波器对非线性漂移参数跟踪.pdfVIP

第17届IFAC系统辨识研讨会预印本国际会议2015年10月

19‑21日，

在边界控制电沉积过程中利用因子化扎凯滤波器非线性漂移参数

R.Tenno

阿尔托大学，电气，邮政信箱15600，阿尔托，

兰电子邮件：author@aalto.fi）

芬（

：扎凯滤波被应用于描述典型电沉积过程的模型中的非线性时变参数。该过程固定

在扩散层体溶液的边界上，并在电极表面进行观测和控制。所应用的边界控制与未知漂移参数之

间存在严重的非线。提出了一种基于因子化扎凯滤波的漂移参数估计算法。在为铜电沉积

过程开发的扩散类型模型上通过仿真分析了估计的一致性。

K：非线性滤波，时变系统，边界控制，分布参数系统。

未归一化的概率的无限和快速增长可能会迅速破坏估计