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非对称基区晶体管压力传感器温度补偿集成化：原理、挑战与突破

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，压力传感器作为获取压力信息的关键器件，在工业生产、汽车制造、航空航天、生物医学等众多领域发挥着不可或缺的作用。非对称基区晶体管压力传感器凭借其独特的结构和工作原理，展现出高灵敏度、快速响应等优势，在各类压力测量场景中得到了广泛应用。

然而，温度对非对称基区晶体管压力传感器性能的影响是一个不容忽视的问题。传感器的敏感元件多由半导体材料制成，而半导体材料的物理特性对温度变化极为敏感。当环境温度发生波动时，半导体材料的载流子浓度、迁移率以及禁带宽度等参数会随之改变，进而导致传感器的