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T∕CSCP 0059.3-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法.docxVIP

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  • 2026-05-25 发布于山东
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T∕CSCP 0059.3-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法.docx

    ICS77.060CCSH25

    中国腐蚀与防护学会团体标准

    T/CSCP0059.3-2025

    微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传

    感器

    第3部分：测试方法

    Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

    andsensor——

    Part3：Testmethod

    2025-09-01发布2025-10-01实施

    中国腐蚀与防护学会发布

    T/CSCP0059.3-2025

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