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MEMS微波功率传感器及其检测系统：原理、设计与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代通信、雷达、卫星通信等领域的飞速发展，微波技术在其中扮演着愈发关键的角色。在这些应用中，微波功率作为一个重要参数，对系统性能有着至关重要的影响。准确测量微波功率，是保障各类微波系统稳定运行、实现高效通信与精确探测的基础。例如，在5G乃至未来6G通信系统中，基站与移动终端之间的信号传输功率需精确控制，以确保通信质量、覆盖范围和能源利用效率；雷达系统中，发射微波功率的大小直接关系到目标的探测距离与精度。因此，微波功率传感器作为测量微波功率的核心器件，其性能优劣成为了影响众多领域发展的关