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集成电路半导体制造中的关键工艺优化研究

目录

内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.5论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

集成电路制造基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.1半导体材料与器件基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2关键工艺流程概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.3工艺参数对器件性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

关键工艺优化方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.1