CN119838374A 一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法 (杭氧集团股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-25 发布于重庆
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CN119838374A 一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法 (杭氧集团股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119838374A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510330533.4B01D53/047(2006.01)

B01D53/00(2006.01)

(22)申请日2025.03.20

(71)申请人杭氧集团股份有限公司

地址311305浙江省杭州市临安区青山湖

街道相府路799号

申请人邓波

(72)发明人盛文龙邓波韩小磊沈昕悦

张成雄夏雨涵姜文瀚朱程浩

袁士豪李冬锋

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

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