CN119604971A 用于灯外壳裂纹检测的方法和装置 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119604971A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202380051426.7

(22)申请日2023.06.22

(30)优先权数据

17/867,9442022.07.19US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.31

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0259222023.06.22

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/019857EN2024.01.25

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人菲利普·马修梅兰·贝德亚特

佐仲正守中西孝之

瑞安·默多克

马克·大卫·约翰逊钱骏

张宇淳乔治·戈威尔

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

有限公司11006

专利代理师徐金国吴启超

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图3页

(54)发明名称

用于灯外壳裂纹检测的方法和装置

(57)摘要

CN119604971A本文提供了用于灯外壳裂纹检测的方法和装置。例如，与具有灯外壳的处理腔室相关联的方法包括在处理腔室中顺序地处理多个基板，在处理多个基板期间，从可操作地连接