CN119861537A 掩膜成像方法、装置、存储介质及电子设备 （华芯程(杭州)科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119861537A

(43)申请公布日2025.04.22

(21)申请号202510326271.4

(22)申请日2025.03.19

(71)申请人华芯程（杭州）科技有限公司

地址310000浙江省杭州市余杭区良渚街

道网周路99号1幢22层2208室

(72)发明人张宁宁林云

(74)专利代理机构深圳市嘉勤知识产权代理有

限公司44651

专利代理师王敏生

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

掩膜成像方法、装置、存储介质