CN119861641A 一种基于键合金丝设备的远程控制方法及系统 （丰睿成科技(深圳)股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119861641A

(43)申请公布日2025.04.22

(21)申请号202510322037.4

(22)申请日2025.03.19

(71)申请人丰睿成科技（深圳）股份有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区大浪街

道大浪社区下岭排路91号F栋1层、2

层、3层

申请人丰睿成（湖北）半导体材料有限公司

(72)发明人闵家倩程林峰李军张海军

(74)专利代理机构深圳科博专利代理事务所

(普通合伙)441003

专利代理师李木燕

(51)Int.Cl.

G05B19/042(2006.01)