GSB 04-3969-2022-硅单晶中杂质元素低温傅立叶变换红外光谱分析用标准样品标准研究报告.docx

GSB04-3969-2022《硅单晶中杂质元素低温傅立叶变换红外光谱分析用标准样品》发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportonCertifiedReferenceMaterialforAnalysisofImpurityElementsinSiliconSingleCrystalbyLowTemperatureFourierTransformInfraredSpectroscopy(GSB04-3969-2022)

摘要

本报告系统阐述了GSB04-3969-2022《硅单晶中杂质元素低温傅立叶变换红外光谱分析用标准样品》的研制背景、技术内容、应用价值及行业影响。随着半导体产业向高纯度、高集成度方向发展，硅单晶作为集成电路和光伏器件的核心基材，其杂质元素的精确控制成为提升器件性能的关键。低温傅立叶变换红外光谱法（LT-FTIR）因其高灵敏度和非破坏性特点，被广泛应用于硅单晶中碳、氧等杂质元素的定量分析，但长期以来缺乏统一、可溯源的配套标准样品，导致不同实验室间检测结果存在显著差异。本标准样品由全国标准样品技术委员会（TC118）归口，国合通用测试评价认证股份公司与国标（北京）检验认证有限公司联合研制，于2022年12月29日批准发布，有效截止日期为2031年7月31日。报告详细介绍了标准样品的定