CN120287146A 一种晶圆边缘抛光装置和抛光方法 (华海清科股份有限公司).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.78万字
  • 约 18页
  • 2026-05-26 发布于重庆
  • 举报

CN120287146A 一种晶圆边缘抛光装置和抛光方法 (华海清科股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120287146A

(43)申请公布日2025.07.11

(21)申请号202510529349.2

(22)申请日2025.04.25

(66)本国优先权数据

202411989226.9

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档