CN119609385A 用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法、装置及设备 （深圳市吉祥云科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119609385A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510166883.1

(22)申请日2025.02.14

(71)申请人深圳市吉祥云科技有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区福永街

道白石厦社区东区永泰东路7号6栋

401、5栋201、301

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

(51)Int.Cl.

B23K26/364(2014.01)

B23K26/70(2014.01)

B23K26/06(2014.01)

权利要求书2页说明书13页附图4页

(54)发明名称

用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法、

装置及设备

(57)摘要

CN119609385A本发明涉及光学控制技术领域，公开了一种用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法、装置及设备，其中，该方法包括：通过获取蚀刻规格和蚀刻材料，基于预设激光传导长度、蚀刻长度和蚀刻路径，确认镜片组安装位置，控制光路系统按镜片组安装位置定位每一透反镜片，并在每一透反镜片下侧对应设置准直聚焦组，基于蚀刻深宽度和蚀刻材料对应的材料蚀刻属性，确定每一准直聚焦组中聚焦头的蚀刻速度，控制每一聚焦头按对应的蚀刻速度对目标材料进行蚀刻，可提供无接触式加工