扫描电子显微镜SEM-2017.pptx

扫描电子显微镜SEM-2017核心原理与实操应用解析汇报人:xxx

目录CONTENTSSEM基本原理与构造01SEM-2017设备操作02图像采集参数设置03能谱分析基础应用04常见故障排除指南05实验安全与维护06

SEM基本原理与构造01

电子束与样品相互作用弹性散射机制入射电子受原子核库仑场作用发生大角度偏转，能量几乎不变，主要产生背散射电子信号。非弹性散射过程电子与样品轨道电子相互作用损失能量，激发出二次电子、特征X射线及俄歇电子等信号。相互作用体积特征电子束在样品内形成梨形作用区，其尺寸取决于加速电压、原子序数及样品倾斜角度等因素。信号产生与深度不同信号源自不同深度，