CN119618083A 位移测量装置及位移测量方法 （之江实验室）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119618083A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510167011.7

(22)申请日2025.02.14

(71)申请人之江实验室

地址311121浙江省杭州市余杭区中泰街

道科创大道之江实验室

(72)发明人马海祥李小龙冯甫袁小聪

(74)专利代理机构北京博思佳知识产权代理有限公司11415

专利代理师王厚莉

(51)Int.Cl.

G01B11/02(2006.01)

G01S17/08(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图4页

(54)发明名称

位移测量装置及位移测量方法

(57)摘要

CN119618083A本申请提供一种位移测量装置及位移测量方法。该位移测量装置包括激光器、分束器、空间光调制器、相机及图像处理模块。分束器将激光器发出的激光分为两束光分别作为位移测量的探测光场与参考光场；空间光调制器用于对参考光场进行调制并选择性地产生涡旋光场和/或平面波光场，涡旋光场和平面波光场的能量不同且空间分离，涡旋光场通过分束器与被测物体反射回来的探测光场进行合束生成光学摩天轮阵列光场；生成的光学摩天轮阵列光场与平面波光场发生干涉产生干涉场；相机先后对光学摩天轮阵列光场和干涉场分别进行成像；图像处理模块基