CN119618258A 基于飞秒激光的半球谐振子精密修调装置及方法 （北京自动化控制设备研究所）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119618258A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411529228.X

(22)申请日2024.10.30

(71)申请人北京自动化控制设备研究所

地址100074北京市丰台区云岗北里1号院

3号楼

(72)发明人徐海刚李泽章王建海王宝军朱毅张传忠李新月台云硕

张宇航张鹏秦玉霞

(51)Int.Cl.

G01C25/00(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图1页

(54)发明名称

基于飞秒激光的半球谐振子精密修调装置

及方法

(57)摘要

CN119618258A本发明提供了一种基于飞秒激光的半球谐振子精密修调装置及方法，包括：真空系统、飞秒激光修调系统、夹具、工件运动系统和质量不平衡测试系统；飞秒激光修调系统包含聚焦模块、激光光路、飞秒激光器、飞秒激光能量连续调控模块和飞秒激光图形化与控制系统；工件运动系统包括工件自转机构和工件平移机构，工件自转机构用于实现夹具及半球谐振子的自转运动；工件平移机构与工件自转机构连接，用于实现半球谐振子和工件自转机构的三方向平移运动；质量不平衡测试系统包含谐振子激励模块和测试模块；谐振子激励模块用于激励半球谐振子；测试模块用于检测已激励的半球谐振子的振动